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  超聲波清洗的原理，在理論要加以闡述是比較復(fù)雜的，里面牽涉許多因素和作用，可以體現(xiàn)超聲波清洗作用的主要有以下三點(diǎn)。 

    (1)空穴作用 

    當(dāng)強(qiáng)力的超聲波輻射到液體中，清洗液以靜壓(一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)氣壓)為中心進(jìn)行變化，在壓力到零氣壓以下時(shí)，溶解在液體中的氧會(huì)形成微小氣泡核，進(jìn)而產(chǎn)生無(wú)數(shù)近似真空的微小空洞(空穴)。超聲波的正壓力時(shí)的微小空洞，在絕熱壓縮狀態(tài)被擠碎，這個(gè)發(fā)生在擠碎瞬間的強(qiáng)力沖擊波，可直接破壞污染物并使之分散在液中，形成清洗機(jī)理。試驗(yàn)中這種強(qiáng)力的清洗作用，能在數(shù)十秒內(nèi)對(duì)鋁箔侵蝕成無(wú)數(shù)的小孔。 

    利用空穴作用的清洗，對(duì)去油污的效果比較好，通常在28KHZ~50KHZ的頻率內(nèi)進(jìn)行機(jī)械另部件的清洗，清洗機(jī)的超聲波強(qiáng)度大多設(shè)定在0．5~1w／cm2。 

    (2)加速度 

    清洗液體經(jīng)超聲波輻射，液體分子發(fā)生振動(dòng)，這種振動(dòng)加速度在28KHZ時(shí)是重力加速度的103倍，在950KHZ時(shí)將達(dá)到105倍，由這個(gè)強(qiáng)力加速度可以對(duì)受污物的表面實(shí)行剝離清洗。然而，950KHZ的超聲波不產(chǎn)生空穴，不適應(yīng)去油污的清洗，只能在電子工業(yè)的半導(dǎo)體制造中，對(duì)亞微米粒子的污染進(jìn)行清洗。 

    (3)物理化學(xué)反應(yīng)的促進(jìn)作用 

    由空穴作用使液體局部發(fā)生高溫高壓(1000氣壓，5500℃)，再經(jīng)振動(dòng)產(chǎn)生的攪拌，促使化學(xué)或物理作用的相乘，液體不斷地乳化分散，進(jìn)一步促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)的速率。 

清洗液深度的確定 

    液體中的超聲波會(huì)因行波、回波的相互干擾及強(qiáng)合結(jié)果，將形成“駐波”現(xiàn)象，(見(jiàn)圖1)。確定產(chǎn)生駐波的液體深度，能得到好的超聲波輻射效果。產(chǎn)生駐波的液體深度，可用下面公式計(jì)算。